Semiconductor Industry

NKY®PVP K

Trade name: NKY®PVP K

产品名称: PVP K系列产品

化学名称: 聚乙烯吡咯烷酮

INCI: PVP

CAS-NO.:9003-39-8

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产品详情

外观性状: 白色至乳白色自由流动粉末,无味或稍有特征性气味。


主要性质: 无毒、无刺激、有吸湿性,易溶于水、醇、胺等多种有机溶剂,具有优异的溶解性、成膜性、化学稳定性、生理惰性、粘结性和络合能力。


产品标准: 医药级、化妆品级、工业级


规格型号: 根据聚合物分子量和水溶液粘度计算K值,分为以下型号。


K值测试方法为:1%水溶液的运动粘度换算而得。


产品名称K值固含量%pH
NKY®PVP K1210-14≥953.0-7.0
NKY®PVP K1513-18≥953.0-7.0
NKY®PVP K1715-19≥953.0-7.0
NKY®PVP K2523-28≥953.0-7.0
NKY®PVP K30 / K30L27-32.4≥95 / 303.0-7.0
NKY®PVP K60 / K60L55-65≥95 / 405.0-9.0
NKY®PVP K80 / K80L75-83≥95 / 205.0-9.0
NKY®PVP K85 / 85L78-90≥95 / 205.0-9.0
NKY®PVP K90 / 90L88-96 / 81-100≥95 / 205.0-9.0
NKY®PVP K120 / K120L105-130≥95 / 115.0-9.0


主要作用:

1. 在CMP抛光液中,改善磨粒的分散性能。

2. 降低抛光液表面张力,增大抛光液对晶圆表面的润湿性。

3. 改变待抛基底表面 zeta 电位,减少抛光液对晶圆表面的污染。


分散机理


聚乙烯吡咯烷酮(PVP)作为一种非离子两亲性聚合物,同时具有亲水基团和疏水基团,其具有良好的吸附能力,从而降低两相之间的界面张力。

当金属氧化物磨粒加入到含有PVP的抛光溶液中后,PVP分子上的亲水基团和磨粒的表面相互吸引,PVP吸附到磨粒表面,并逐渐形成一层PVP分子膜。其空间位阻效应可以克服磨粒之间的范德华力等引力作用,防止磨粒团聚,形成稳定均匀的CMP抛光液。


NKY®PVP K


主要应用

1. CMP浆料中分散剂。

2. 纳米磨粒合成过程中的表面稳定剂、生长调节剂、形态控制剂、纳米粒子分散剂和还原剂。

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